1、主要用于晶体的清洗和干燥；2、采用两套单臂机械手全自动作业；3、横向采用步进马达定位，定位准确，速度快；4、采用洗剂清洗、DI水漂洗、 IPA脱水和IPA干燥；5、采用28KHZ、40KHZ、68KHZ、80KHZ、120KHZ多种频率超声波确保清洗效果；6、IPA导热油间接加热和制冷机制冷，控制清洗和干燥的温度；7、独创的弧形间隔及矩形溢水结构，美观实用；8、设有工件上下摇动系统，辅助清洗；9、设有废气排气系统，周围环境优良；10、PLC全程序控制及触摸屏人机界面操作；
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